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三天后,火炬实验室,地下测试中心。
常浩南刚踏进大门,就看见栗亚波正指挥着几名工程师,在中央区域紧张地搭建着一个结构复杂的光学平台。
空气中弥漫着全新设备特有的正己烷气味,一系列精密元件在灯光下下反射着冷冽的光泽。
“老师,您回来了!”栗亚波抬头看见常浩南,立刻停下手中的活计迎了上来。
双眼有神,明显精神头不错——
制定实验方案还有设备搭建都属于慢工出细活,犯不上每天熬夜加班。
“大部分分辨率测试需要的硬件都到了,气浮隔振台、高精度位移台、光束整形器、旋转毛玻璃、ND滤光片……”
还没等常浩南主动开口询问进度,他就指着平台上一件件昂贵的设备快速汇报:
“还有那个USAF
1951分辨率靶标,11组3元素规格的,这东西虽然是标准件但用的人太少找不着现货,还是加急空运到的……”
“现在正在调试光束准直和均匀性,预计还需要两天时间才能完全准备好……”
一个星期的工作,足足十来分钟才介绍完。
设备到位,只是准备工作的开始,而不是结束。
“辛苦了。”常浩南的目光扫过正在搭建的平台,微微颔首,“分辨率测试不急这一两天,按计划稳步推进就好,确保系统稳定可靠。”
随后,他话锋一转,语气变得更为明确:
“不过,你现在需要优先准备另一次性能展示,明天上午,会有两位非常重要的合作者到访。”
栗亚波立刻领会:“还是用那个‘双负折射平板透镜’做基础演示?”
“对。”常浩南点头,“来的都是内行,看一眼光路就能知道怎么回事。”
“明白!”栗亚波神情一肃,“我马上重新检查一遍演示系统,保证不出纰漏。”
他知道,能让老师如此重视,那这“合作者”的身份和分量都必定非同小可。
翌日清晨,火炬实验室主楼。
常浩南亲自来到门口迎接。
一辆中巴车的侧门打开吴明翰院士率先下车。
紧随其后的,是一位身材不高、但眼神锐利的中年人。
还亲自提着一个看起来相当沉重、带有物理锁的黑色合金手提箱。
“常院士!”吴明翰快走两步,热情地与常浩南握手。
随即侧身介绍:“这位就是长光集团的张汝宁张研究员,ArF系列光刻机物镜系统的研发负责人。”
“张研究员,欢迎!”常浩南伸出手,“久仰大名,我是常浩南。”
张汝宁把手提箱换到左手,然后才伸出右手相握:
“常院士客气了,久仰大名这话,应该我来说才对。”
说话间,一众随行人员也陆续下车,分列在略靠后几步的位置。
三人一边寒暄,一边进门乘上电梯,来到了位于顶层的会议室。
坐定之后,张汝宁没有任何多余的客套,直入主题。
“常院士,吴院士之前转达了您的需求。”他拍了拍手中的合金箱,发出沉闷的声响,“这次,我把压箱底的东西带来了。”
他说着向身后示意了一下,助手见状立即上前,将一柄钥匙交到张汝宁手中。
“咔哒”一声,金属箱打开。
里面是几块用防震材料包裹得严严实实的硬盘。
以及一个厚厚的、封面印着“绝密”字样的文件袋。
“这是我们长光为下一代国产ArF浸没式光刻机‘ArF1800’项目准备的几种核心折反式物镜组设计方案。”
张汝宁的语气带着淡淡的自豪,同时还有几分庄重。
坐在常浩南另一边的吴明翰适时开口道:
“虽然目前还处于方案论证阶段,尚未最终确定采用哪种设计路线,但毫不夸张地说,老张的方案,就代表了国内光刻物镜设计的最顶尖水平。”
张汝宁闻言笑了笑。
但这一次,却并未出言自谦。
而是半开玩笑半认真地说道:
“常院士,如果不是火炬实验室的名头,加上您亲自开口,那这些东西,是绝对不可能带出长光大门的。”
在这种场合下,需要对自己的成果表现出一些自信。
再者,过分的谦虚,也是对其它项目参与者的不尊重。
紧接着,他的语气又恢复严肃:“另外,虽然是带出来了但根据规定,不能复制,不能拍照,演示交流结束后,我必须原样带回。”
大家都是体制内的技术人员,自然知道规矩。
常浩南也看得出对方的重视程度已经拉满,也赶紧配合地接了一句:
“我代表火炬实验室,对张研究员,以及长光集团的诚意表示感谢!”
“好!”张汝宁点点头,神情放松下来。
然后示意助手将其中一块硬盘连接到会议室的专用电脑上:
“那我们就开始?您这边的新理念,或许可以和我们这几个方案交流碰撞一下。”
ArF1800项目是长光的心血,对标的是ASML的NXT:2000i系列,属于当前DUV体系下的最顶级产品。
他也很想看看,对方能拿出什么新的理念来交流。
然而,常浩南却轻轻摆了摆手,示意那位助手先别动:
“张研究员,先不急着看资料。”
这个态度让另外二人有些愕然。
“火炬实验室的新理念,是完全……颠覆性的。”常浩南解释道,“现有设计方案本身的参考价值恐怕有限,关键在于思路,包括折反式系统的设计方法,还有一些关键过程和数据。”
张汝宁脸上的笑容微微一滞,眼底掠过一丝难以察觉的讶异和……不服气。
参考价值有限?
他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案!
这位常院士的口气,未免太大了些。
不过,他倒也不至于表露出来,只是点了点头:“那我们就客随主便,听常院士您安排就是。”
常浩南也看出了对方的小情绪,但只是起身,做了个请的手势:
“二位跟我来。”
张汝宁和吴明翰对视一眼,都看到了对方眼中的疑惑。
对方强调两个人,那意思当然是不能带随行人员。
好在这是国内,倒不用担心什么摔杯为号冲出五百刀斧手之类的剧情。
于是两人将随行人员留在会议室,只身跟随常浩南,深入到了火炬实验室的地下测试中心。
刚一踏进测试大厅张汝宁的目光就被吸引住了。
“这是……蔡司最新的那台三坐标测量仪?精度能达到亚微米级了!”
他几乎不由自主地走向一台造型精密、闪烁着金属光泽的大型设备,如同看到稀世珍宝。
如果不是有一层窗户挡着,怕是要上手摸一摸。
“还有这台,同步辐射光源的小角散射装置……”
PRO表面轮廓仪……”
张汝宁的语气充满惊叹。
“这些设备的投入,简直难以想象!”
他本人的课题组建立较早,不少设备已经并非最新型号。
而长光集团毕竟是个企业,要考虑投入产出比的问题,不可能无限制地追逐新款。
常浩南微微一笑,并未在此多作停留。
“张研究员见多识广。不过,今天的重点不是这些。”
他引着二人,径直走向测试中心一个相对僻静的角落。
那里摆放着一台看起来相当“朴素”的光路演示仪。
仪器主体就是一个带有精密位移台的黑色光学平台,上面固定着光源、几个调整架和一个观察端口。
平台旁边连接着控制电脑和显示器。
但此时正关着机。
栗亚波早已在此等候。
张汝宁快走几步,饶有兴致地凑近光路仪。
他本以为会看到一组结构复杂、镜片林立的实验性物镜原型。
然而,当他来到跟前时,却发现光学平台中央的调整架上,只固定着孤零零的一个光学元件。
一片厚度大约几个毫米的、长方形的……
镜片?
它被小心翼翼地夹持在一个特制的夹具中,表面平整如新。
但无论怎么看,这都只是一片平面镜而已。
“常院士,这是……”张汝宁疑惑地看向常浩南,又看看同样一脸茫然的吴明翰。
他完全无法理解,这片看似普通的平面镜,如何能与“颠覆性”的光刻物镜设计理念联系起来。
常浩南没有直接解释,只是对栗亚波点了点头:“亚波,开始吧。”
“是,老师。”
栗亚波早已做好设置,此时只需要按动一下启动按键即可。
嗡的一声轻响,一道稳定而纤细的绿色激光束亮起
与此同时,光路仪四周厚重的遮光罩缓缓升起、闭合,将整个平台笼罩在黑暗之中。
只有控制面板上几个微弱的指示灯亮着。
几秒钟后,栗亚波轻轻点头,让出了观察口的位置,示意准备就绪。
这个速度,快到如同儿戏。
吴明翰好奇心更重,率先将额头贴上观察口的目镜。
然后……
安静。
沉默。
直到几秒钟后。
“嘶——!”
一声极度压抑却又充满难以置信的抽气声,猛地从吴明翰喉咙里发出!
他整个人如同被电流击中,身体瞬间绷直,贴在目镜上的额头甚至微微后仰了一下,嘴巴张得老大。
仿佛看到了最不可思议的魔法!